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所谓“真空“,是指在给定的空间内,压强低于101325帕斯卡(也即一个标准大气压强约101KPa)的气体状态。在真空状态下,气体的稀薄程度通常用气体的压力值来表示,显然,该压力值越小则表示气体越稀薄。
真空计,又称规,是用于测量真空环境中真空度的仪器,主要是经过测量气体压力来确定真空度的值,主要使用在于真空镀膜、太阳能集热管制作、真空冶炼等。真空计的种类很多,在低真空度中,扩散硅压阻真空计应用比较广泛,可用于高精度加工和测量领域,涉及到航天航空、半导体制造、科学研究、真空焊接、金属冶炼、光伏装备等领域。例如在半导体制作的完整过程中,真空规可测量真空室内的压力和真空度,以保证半导体器件质量及性能。
压阻效应,即电阻随着外界压力的变化而产生相应的变化。在扩散硅压力传感器中,利用硅的特性,通过改变其电阻来实现对压力的测量。当硅受到外界压力作用时,硅晶体结构变形,导致电阻发生变化。
AGP10系列是一款压阻式真空规,采用高精度、高稳定性的扩散硅充油传感器芯体,以及电子控制器与传感器一体化模块设计,利用半导体材料的压阻效应以及良好的弹性形变性能,凭借精湛的封装技术和完善的装备工艺,确保了该产品的质量和性能。
AGP10系列提供模拟电压输出,具有精度高、稳定性高、抗腐蚀性强、重复性好、重量轻,低成本维护等优点。因此在真空技术、化学工业、电子工业等领域得到普遍应用。下面分别介绍它在这些领域中的具体应用。
在真空制备、真空检测、真空质量检验及真空测漏等真空技术领域中,真空规管被大范围的应用。例如,在真空制备中,它能够适用于监测系统的真空度;在真空检测中,它能够适用于对真空系统来进行检测;在真空质量检测中,它可以用于对真空系统内杂质气体进行分析;在真空测漏中,它可以用于对真空系统的泄漏进行仔细的检测。
在化学工业领域中,真空规管能够适用于对各种气体的压力进行监测,从而保证反应的安全和有效性。例如,在反应釜中,可以使用真空规管来监测反应过程中氢气、氮气等气体的压力。
在电子工业领域中,真空规管能够适用于显示器直流电源、高压电源、微波功率计、中微子探测器等设备中的真空检测与控制。例如,在高压电源中加装真空规管,可以实时监测系统中气体的压力,避免过高或过低的气体压力对设备的损坏。返回搜狐,查看更加多